SVS OV-12 HMDS 烘箱
（Vacuum oven）
主要技术指标（ Specifications）:
- 温度范围：RT～200℃
Temperature range: ambient to 200 ℃
- 温度偏差：＋/-2℃@100℃
Temperature variation： ＋/-2℃ @100℃
- 温度波动范围：+/-0.4℃
Temperature uniformity：+/-0.4℃
- 加热时间：72min @RT~100℃
Ramp up rate：72min @ ambient to 100℃.
主要用途/Applications:
半导体光刻工艺中硅片表面改性；增加光刻胶对硅片的黏附性。
Improving the adhesion between SiO2 (or glass,Si) surfaces and the photoresist.
