尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台西区多靶磁控溅射（设备编号：WF1DMSP01）及东区金属薄膜刻蚀机（设备编号：WF2SRIE01）已完成设备维修，现已恢复对外开放预约及使用。
在此期间，给您带来不便，敬请谅解。感谢您对AEMD平台工作的理解与支持！
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2026年5月15日
