尊敬的各位用户老师、同学：
为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新购置的测量显微镜（设备编号：EFM4STM01）已完成安装调试，即日起开放运行。各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。
测量显微镜介绍：
主要用途：
主要用于微纳加工样品的结构观察及测量，也可以适用于超出视场范围大样品测量。
技术指标：
对于标准样品，平面测量精度≤3μm+2%*L，L为测量长度；验收标准L=100mm，L=1mm量测结果L=99.9988mm，L=0.9991mm；
对于标准样品，Z轴测量精度≤5μm+3%*L，L为测量长度；验收标准 L=1.38mm量测结果 L=1.3806mm；
对于开口宽度为50μm、深度超过120μm的深硅刻蚀槽样品，深度测量误差≤5μm；
设备工作原理简介：
测量显微镜采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统。
图1. 主动反射，共聚焦自动聚焦系统光路
典型使用案例：
1.对于开口宽度为50μm、深度超过120μm的深硅刻蚀槽样品，深度测量误差≤5μm；
设备名称：测量显微镜
设备编号：EFM4STM01
工艺工程师：沈老师；邮箱：shenyunliang@sjtu.edu.cn 电话：(021) 34207734-8010
设备地点：东区薄膜Ⅳ区
设备详细介绍查看路径：AEMD官网-平台设备-表征与测试
AEMD官网网址：https://aemd.sjtu.edu.cn/
AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn/
感谢您对AEMD平台的关注！
设备照片：
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2025年12月09日
