各位老师、同学：
AEMD平台购置的Denton explore-14多靶磁控溅射镀膜系统已完成安装与工艺调试，为了满足学校广大师生的科研需求，即日起开放试运行，特此公告。
该设备是我校“985工程”三期“先进电子材料与器件”校级平台项目建设购置的大型仪器设备之一。设备安装在微电子大楼一层薄膜一区内，试运行期间可供我校师生预约试用。
欢迎我校师生预约使用！欢迎致电：021-34207734或34208017（联系人：韩老师）；或联系邮箱：aemd@sjtu.edu.cn。
先进电子材料与器件（AEMD）平台
2014年7月1日