测试表征

AEMD平台现拥有从光学观测、微观形貌成像、元素分析、膜厚检测、电学性能测定、薄膜应力等多种检测设备，包括：场发射电子显微镜、原子显微镜、四探针电阻测试仪、示波器、霍尔效应仪、半导体参数测试仪等。

电子显微镜（FE-SEM）可以观测到最小尺寸在10纳米左右的结构。同时仪器配置了EDX能谱分析，可以进行小至微米范围内的元素定性分析、定量分析。

原子力显微镜可以扫描90 mm x 90 mm大面积的样品，XY的最大高度起伏低于4nm。3D轮廓仪可以检测30nm到10mm之间的薄膜厚度。

• 测试设备

AFM表面形貌及电学分析测试

(设备：Bruker ICON原子力显微镜)

Surface profile and electrical performance measurement with Atomic Force Microscope

(Tool:Bruker ICON AFM)

半导体参数测试：TFT样品 l-V测试

(设备：Agilent BA1500半导体测试仪)

Semiconductor parameter test: I-V curve of TFT device

(Tool: Agilent BA1500)

相变材料薄膜应力测试

(设备名称：FSM薄膜应力测试仪)

Phase-change film stress measurement

(Tool: FSM Film Stress)

（如需了解更多信息请联系aemd@sjtu.edu.cn）