尊敬的各位用户老师、同学：
为了进一步满足广大师生的科研需求，AEMD平台新上线二、三期设备：电感耦合等离子体薄膜沉积、反应离子刻蚀（金属）、反应离子刻蚀（介质）、高深宽比介质刻蚀系统、8”晶圆金相显微镜、正置显微镜、三维光学轮廓仪。
即日起，各位用户可通过AEMD实验室设备预约管理系统进行预约使用，特此公告。
设备详细介绍查看链接： AEMD官网-平台设备
AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn
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先进电子材料与器件（AEMD）平台
2026年3月27日
