CDEResMap四探针电阻率/方块电阻测试仪
(CDEResMap Four Probe Resistance Tester)
主要技术指标/Specifications:
- 薄膜电阻测量范围: 10-5Ω.cm~105Ω.cm
Resistance test: 10-5Ω.cm ~ 105Ω.cm
- 方块电阻测量范围:10-3Ω/□至106Ω/□
Sheet resistance test:10-3Ω/□ to 106Ω/□
- 晶片直径: 50至200mm,可测量不规则硅片
Diameter of wafers: 50 to200mm
- 具有2D、3D Mapping的数据分析功能。
With 2D and 3D mapping and data analysis function。
- 具有测试数据自动导出功能。
With test data export function。
主要用途/Applications:
测量电阻率及方块电阻(只测量非金属薄膜,避免设备污染)。
Used for non-metal material resistance measurement.