Model:F50-UVX
Function:薄膜厚度测量,可自动mapping
Model:SE-2000
Function:用于探测单层或多层薄膜的折射率(n)、消光系数(k)及厚度等信息
Model:500TC
Function:1. 基片薄膜应力测试(注:薄膜沉积前后各需测一次);
2. 室温至500℃升温薄膜应力测试。
Model:B1500A
Function:二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,脉冲IV,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等。
Model:ResMap 178
Function:半导体或半导体薄膜电阻及方块电阻测量
Model:K2500
Function:测量半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数。