关于AEMD平台二、三期新设备上线的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新购置的二、三期设备已陆续完成安装调试，包括深紫外步进式光刻机、激光直写光刻机、大压力芯片键合机等二十余新设备，即日起开放运行，各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。

AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn

AEMD平台官网网址：https://aemd.sjtu.edu.cn/ （可在主菜单“平台设备“里，根据设备类别，查看设备的详细介绍。）

AEMD平台东区实验室位于陈炜文楼1号楼一楼，“陈炜文楼”大楼位置可查询校园地图：https://map.sjtu.edu.cn/

后续还有其他新设备开放，敬请期待！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年11月14日