【讲座内容】在微纳加工中，离子束刻蚀具有极高的刻蚀分辨率，刻蚀图形的台阶倾角可以控制，这是ICP和RIE刻蚀无法做到的。讲座基于离子束刻蚀与反应离子束刻蚀的原理，介绍离子束刻蚀实例：倾斜光栅刻蚀、磁性传感器刻蚀等，并介绍前沿的离子束刻蚀技术及离子束刻蚀设备相关的最新工艺。