EVG 101 喷胶机

（Spray coater）

主要技术指标/Specifications:

1. 基片尺寸：支持2、3、4、6、8英寸基片及破片

Substrate size: 2”, 3”, 4”, 6”, 8”and piece parts

2. 最大转速：10000rpm

Max speed: 10000rpm

3．转速精度：±1rpm

Spin Speed Accuracy：±1rpm

4. 最大加速度：1000rpm/s

Max Acceleration：1000rpm/s

5.平面喷胶的均匀性： +/-10%

Resistor uniformity at flat surface: +/-10% for spray coating

6.最大喷胶速率: 5ml/s

up to 5ml/s dispense rate

 

主要用途/Applications:

半导体光刻工艺中光刻胶旋涂。

Spray- coating resist on the substrate