关于AEMD平台Beneq热型/等离子体增强型原子层沉积设备恢复对外开放使用的通知

尊敬的用户老师、同学：

AEMD平台西区Beneq热型/等离子体增强型原子层沉积设备（设备编号：WF1BALD01）设备已完成维修和保养维护，全部工艺均恢复对外开放使用。

在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年5月14日