关于AEMD平台举办新进设备介绍讲座的通告
尊敬的各位用户老师、同学:
为了让各位用户更好地了解和使用AEMD新增设备, 平台决定举行两场新设备介绍讲座。届时将由负责相应设备的工艺老师为大家讲解设备的功能、可能的使用场景等等。
讲座现场每个新设备将抽取两次免费试用名额(每个课题组限一次)。欢迎大家积极参与!
第一场
设备:
- PEALD-等离子增强原子层沉积(可预约)
- DISCO BG810减薄机(可预约)
- DISCO DAD3650划片机(可预约)
- DISCO DSC1440清洗机(调试中)
- PVA TePla微波等离子体去胶机(可预约)
- Nano-master SWC-4000掩模版兆声清洗机(未安装)
- Tousimis 全自动临界点干燥仪(可预约)
时间:11月14日下午14:00
地点:微电子大楼408
第二场
设备:
- Semilab SE-2000 椭圆偏振光谱仪(可预约)
- Filmetrics F50-UVX 紫外干涉膜厚仪(调试中)
- Zeiss LSM-800 激光共聚焦显微镜(调试中)
- Olympus STM-7 测量显微镜(调试中)
时间:11月22日上午9:00
地点:微电子大楼401
先进电子材料与器件校级平台
二零一九年十一月十一日