
全国半导体设备和材料标准化技术委员会第八届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2018年10月9—12日在上海市召开,会议由上海交通大学先进电子材料与器件平台承办。来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外88家单位微光刻领域的专家及技术人员约160余人参加了本次会议。

2018年5月31日,先进电子材料与器件平台与SENTECH仪器(德国)有限公司在上海交通大学闵行校区成功举办等离子工艺技术研讨会。 在此次研讨会中AEMD平台刻蚀设备负责人刘民老师向复旦大学、上海和辉光电、SanDisk、上海科技大学等多家校外单位分享了该设备在多种薄膜刻蚀工艺中的应用。

2018年5月16日,迪思科科技(中国)有限公司总经理稻田博俊、上海分公司张佳蔚经理等人至AEMD平台来访参观并就现阶段项目进展进行探讨。平台常务副主任程秀兰老师、集成工艺工程师权雪玲老师、厂务主管梁国恩老师就平台运行模式、现有设备、工艺能力、用户情况等进行了相关介绍。

2018年5月7日,上海交通大学第三届国际青年学者论坛,来自世界各地的信息技术领域优秀青年学者至先进电子材料与器件(AEMD)平台参观。平台主任苏翼凯教授和平台常务副主任程秀兰老师陪同参观。

硅基光电子器件因其工艺与传统CMOS工艺兼容,可实现低成本的光电子器件大规模集成,而成为光通讯学术界、产业界普遍关注的研究热点。其中,电光调制器是硅基集成光电子器件中的关键器件之一。基于谐振腔结构的电光调制器因在集成面积及功耗方面具有相对优势而备受关注。

2017年12月4-8日,先进电子材料与器件平台与荷兰PhoeniX Software在上海交通大学闵行校区成功举办集成光子芯片设计培训--从设计意图到芯片成品 。 本次培训为工业界和学术界的设计人员提供国际最新的光子集成的技术,以及从设计思路,到仿真与版图,再到流片测试的实际经验。