AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD (设备编号：WF2OCVD01）设备已完成设备维修，恢复对外开放使用。
为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新上线二、三期设备：SUSS MA8/BA8双面对准光刻机、SUSS 高性能涂胶机、SUSS 高性能显影机、VHF刻蚀系统、激光诱导深度刻蚀、高精度微喷墨打印系统，即日起开放运行，各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。
经查电子工程系吴X峰同学，于2024年11月20日，在AEMD平台西区无机湿法Ⅱ区内，未按规定规范使用仪器设备，根据《AEMD平台管理及违规处罚条例》相关规定，经平台研究讨论，即日起给予该同学停权1周的处分。
AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备（设备编号：WF1BALD01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。
