2026-10-13

尊敬的各位用户老师、同学:

 

AEMD平台东区化学辅助离子束刻蚀系统(CAIBE)(设备编号:EFM4CRB01)因设备维修,即日起暂停使用。设备预计恢复时间将根据维修进展确定,恢复开放后将第一时间另行通知,请关注平台公告。

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先进电子材料与器件(AEMD)平台

2026年10月13日

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