关于AEMD平台西区NMC深硅刻蚀机设备、NMC介质刻蚀机设备恢复对外开放使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区NMC深硅刻蚀机（设备编号：WF2NDSE02）、NMC介质刻蚀机（设备编号：WF2NRIE02）已完成维修，恢复对外开放使用。

在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2023年9月26日