| 型号： | Axio Scope A1 |
|---|---|
| 功能： | 基片表面光学观察 |
| 工程师： | 沈老师 / 34207734-8010 / shenyunliang@1 |
| 设备地点： | 东区光刻ⅢB区 |
| 设备编号： | ELT3UPM01 |
光学显微镜可以快速、无损的观测样品表面，提供宏观缺陷检测和工艺监控任务。作为预筛选依据，显著提升半导体制造过程的检测效率。
借助明场、暗场等观察技术，可显著提升对比度，分辨基片划痕及颗粒物。结合数字成像系统，还能进行实时图像采集、尺寸测量。
物镜放大倍数包括：5X、10X、20X、50X、100X
光学显微镜的基本原理是通过两组透镜（物镜和目镜）的组合来实现对微小物体的放大和成像。物镜负责将物体放大并形成倒立的实像，而目镜则进一步放大这个实像，形成正立的虚像，最终供观察者使用。
5X物镜拍摄照片
样品尺寸兼容4英寸以下及破片，不接受带污染的样品；使用物镜圆盘转动物镜
样品尺寸兼容4英寸以下及破片，不接受带污染的样品；使用物镜圆盘转动物镜；样品背面干净，使用完请将亮度调到最低；设备在运行过程中，请勿触碰设备以及操作电脑以免误碰引起设备停机或故障；如果发生设备报警，请通知相应的设备工程师
1、检查光源模式、孔径、亮度是否正常；
2、检查电源线是否有松动，插座是否正常。
3、如需更换备用灯泡，烦请联系设备工程师
