测试设备

序号设备名称设备类别东/西区实验区域设备状态
1紫外干涉薄膜厚度测量仪测试设备西区薄膜I区对外开放
2Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪测试设备西区离子注入二区对外开放
3Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜测试设备西区测试区对外开放
4Bruker ICON原子力显微镜测试设备西区测试区对外开放
5KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪)测试设备西区薄膜I区对外开放
6Ambios表面轮廓仪(台阶仪)测试设备东区COMD湿法区对外开放
7Bruker表面轮廓仪(台阶仪)测试设备东区微纳加工实验室对外开放
8FSM薄膜应力测量仪测试设备西区薄膜II区对外开放
9Ocean Optics紫外干涉膜厚仪测试设备西区薄膜II区设备维护
10Ocean Optics可见光膜厚测量仪测试设备西区光刻区对外开放
11CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪测试设备西区氧化扩散区对外开放
12ZETA可见光三维显微/轮廓仪测试设备西区薄膜II区设备维修
13ZEISS数字显微镜测试设备西区薄膜II区对外开放
14Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台测试设备西区测试区对外开放
15Keithley 4200半导体参数分析仪(含探针台)测试设备东区光电器件实验室对外开放
16MMR霍尔效应仪测试设备西区测试区对外开放
17振动样品磁强计测试设备东区微纳加工实验室对外开放
18KLA-Tencor D-120表面轮廓仪(台阶仪)测试设备东区光电器件实验室对外开放
19任意信号发生器(AWG)测试设备西区测试I区对外开放
20数据采集与分析仪器测试设备西区测试I区对外开放
21Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜测试设备西区测试区对外开放