1 | 紫外干涉薄膜厚度测量仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜I区 | 对外开放 |
2 | Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪 | 测试设备 | 西区 | 离子注入二区 | 对外开放 |
3 | Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
4 | Bruker ICON原子力显微镜 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
5 | KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪) | 测试设备 | 西区 | 薄膜I区 | 对外开放 |
6 | Ambios表面轮廓仪(台阶仪) | 测试设备 | 东区 | COMD湿法区 | 对外开放 |
7 | Bruker表面轮廓仪(台阶仪) | 测试设备 | 东区 | 微纳加工实验室 | 对外开放 |
8 | FSM薄膜应力测量仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 对外开放 |
9 | Ocean Optics紫外干涉膜厚仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 设备维护 |
10 | Ocean Optics可见光膜厚测量仪 | 测试设备 | 西区 | 光刻区 | 对外开放 |
11 | CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪 | 测试设备 | 西区 | 氧化扩散区 | 对外开放 |
12 | ZETA可见光三维显微/轮廓仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 设备维修 |
13 | ZEISS数字显微镜 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 对外开放 |
14 | Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
15 | Keithley 4200半导体参数分析仪(含探针台) | 测试设备 | 东区 | 光电器件实验室 | 对外开放 |
16 | MMR霍尔效应仪 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
17 | 振动样品磁强计 | 测试设备 | 东区 | 微纳加工实验室 | 对外开放 |
18 | KLA-Tencor D-120表面轮廓仪(台阶仪) | 测试设备 | 东区 | 光电器件实验室 | 对外开放 |
19 | 任意信号发生器(AWG) | 测试设备 | 西区 | 测试I区 | 对外开放 |
20 | 数据采集与分析仪器 | 测试设备 | 西区 | 测试I区 | 对外开放 |
21 | Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |