测试设备

序号设备名称设备类别东/西区实验区域设备状态
1Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪测试设备西区离子注入二区对外开放
2Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜测试设备西区测试区对外开放
3Bruker ICON原子力显微镜测试设备西区测试区设备维护
4KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪)测试设备西区薄膜I区对外开放
5Ambios表面轮廓仪(台阶仪)测试设备东区COMD湿法区对外开放
6Bruker表面轮廓仪(台阶仪)测试设备东区微纳加工实验室对外开放
7FSM薄膜应力测量仪测试设备西区薄膜II区对外开放
8Ocean Optics紫外干涉膜厚仪测试设备西区薄膜II区设备维护
9Ocean Optics可见光膜厚测量仪测试设备西区光刻区对外开放
10CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪测试设备西区氧化扩散区对外开放
11ZETA可见光三维显微/轮廓仪测试设备西区薄膜II区对外开放
12ZEISS数字显微镜测试设备西区薄膜II区对外开放
13Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台测试设备西区测试区对外开放
14Keithley 4200半导体参数分析仪(含探针台)测试设备东区光电器件实验室对外开放
15MMR霍尔效应仪测试设备西区测试区对外开放
16振动样品磁强计测试设备东区微纳加工实验室对外开放
17KLA-Tencor D-120表面轮廓仪(台阶仪)测试设备东区光电器件实验室对外开放
18任意信号发生器(AWG)测试设备西区测试I区对外开放
19数据采集与分析仪器测试设备西区测试I区对外开放