| 1 | 紫外干涉薄膜厚度测量仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜I区 | 对外开放 |
| 2 | Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪 | 测试设备 | 西区 | 离子注入二区 | 对外开放 |
| 3 | Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
| 4 | Bruker ICON原子力显微镜 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
| 5 | KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪) | 测试设备 | 西区 | 薄膜I区 | 对外开放 |
| 6 | Ambios表面轮廓仪（台阶仪） | 测试设备 | 东区 | COMD湿法区 | 对外开放 |
| 7 | Bruker表面轮廓仪（台阶仪） | 测试设备 | 东区 | 微纳加工实验室 | 对外开放 |
| 8 | FSM薄膜应力测量仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 对外开放 |
| 9 | Ocean Optics紫外干涉膜厚仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 设备维护 |
| 10 | Ocean Optics可见光膜厚测量仪 | 测试设备 | 西区 | 光刻区 | 对外开放 |
| 11 | CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪 | 测试设备 | 西区 | 氧化扩散区 | 对外开放 |
| 12 | ZETA可见光三维显微/轮廓仪 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 设备维修 |
| 13 | ZEISS数字显微镜 | 测试设备 | 西区 | 薄膜II区 | 对外开放 |
| 14 | Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
| 15 | Keithley 4200半导体参数分析仪（含探针台） | 测试设备 | 东区 | 光电器件实验室 | 对外开放 |
| 16 | MMR霍尔效应仪 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
| 17 | KLA-Tencor D-120表面轮廓仪（台阶仪） | 测试设备 | 东区 | 光电器件实验室 | 对外开放 |
| 18 | 任意信号发生器(AWG) | 测试设备 | 西区 | 测试I区 | 对外开放 |
| 19 | 数据采集与分析仪器 | 测试设备 | 西区 | 测试I区 | 对外开放 |
| 20 | Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜 | 测试设备 | 西区 | 测试区 | 对外开放 |
