1 | Olympus测量显微镜STM7 | WF1STMO01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
2 | Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜 | WT2LSMZ01 | 西区测试区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
3 | 紫外干涉薄膜厚度测量仪 | WF1TFMF01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
4 | Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪 | WT1SELP01 | 西区测试区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
5 | Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜 | WT2ZSEM01 | 西区测试II区 | 对外开放 | 王英 |
6 | Bruker ICON原子力显微镜 | WT1BAFM01 | 西区测试区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
7 | Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台 | WT1MSPA01 | 西区测试区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
8 | MMR霍尔效应仪 | WT1MHAL01 | 西区测试区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
9 | ZETA可见光三维显微/轮廓仪 | WF2Z3DM01 | 西区薄膜II区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
10 | ZEISS光学显微镜1 | WPHZMIC02 | 西区光刻区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
11 | ZEISS光学显微镜2 | WF2ZMIC01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
12 | CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪 | WDFCFPP01 | 西区炉管区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
13 | FSM薄膜应力测量仪 | WF2FSTR01 | 西区薄膜II区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
14 | KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪) | WF1KSPR01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
15 | 万能显微镜 | EPHLUMC01 | 东区 | 对外开放 | 张笛 |
16 | 大视场体视显微镜 | EMCLSMC01 | 东区 | 设备维修 | 张笛 |
17 | 光学显微镜 | EODUOMC01 | 东区 | 设备维修 | |
18 | KLA-Tencor D-120表面轮廓仪(台阶仪) | EODKSPR01 | 东区 | 设备维修 | |
19 | Keithley 4200半导体参数分析仪(含探针台) | EODKSPA01 | 东区 | 设备维修 | |