序号	设备名称	设备类别	东/西区	实验区域	设备状态
1	Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪	西区	离子注入二区	对外开放
2	Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜	测试设备	西区	测试区	对外开放
3	Bruker ICON原子力显微镜	测试设备	西区	测试区	设备维护
4	KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪)	测试设备	西区	薄膜I区	对外开放
5	Ambios表面轮廓仪（台阶仪）	测试设备	东区	COMD湿法区	对外开放
6	Bruker表面轮廓仪（台阶仪）	测试设备	东区	微纳加工实验室	对外开放
7	FSM薄膜应力测量仪	测试设备	西区	薄膜II区	对外开放
8	Ocean Optics紫外干涉膜厚仪	测试设备	西区	薄膜II区	设备维护
9	Ocean Optics可见光膜厚测量仪	测试设备	西区	光刻区	对外开放
10	CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪	测试设备	西区	氧化扩散区	对外开放
11	ZETA可见光三维显微/轮廓仪	测试设备	西区	薄膜II区	对外开放
12	ZEISS数字显微镜	测试设备	西区	薄膜II区	对外开放
13	Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台	测试设备	西区	测试区	对外开放
14	Keithley 4200半导体参数分析仪（含探针台）	测试设备	东区	光电器件实验室	对外开放
15	MMR霍尔效应仪	测试设备	西区	测试区	对外开放
16	振动样品磁强计	测试设备	东区	微纳加工实验室	对外开放
17	KLA-Tencor D-120表面轮廓仪（台阶仪）	测试设备	东区	光电器件实验室	对外开放
18	任意信号发生器 (AWG)	测试设备	西区	测试I区	对外开放
19	数据采集与分析仪器	测试设备	西区	测试I区	对外开放