测试设备

序号设备名称设备编号设备放置地点设备状态工艺工程师
1Olympus测量显微镜STM7WF1STMO01西区薄膜I区对外开放沈赟靓
2Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜WT2LSMZ01西区测试区对外开放沈赟靓
3紫外干涉薄膜厚度测量仪WF1TFMF01西区薄膜I区对外开放瞿敏妮
4Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪WT1SELP01西区测试区对外开放瞿敏妮
5Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜WT2ZSEM01西区测试II区对外开放王英
6Bruker ICON原子力显微镜WT1BAFM01西区测试区对外开放沈赟靓
7Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台WT1MSPA01西区测试区对外开放瞿敏妮
8MMR霍尔效应仪WT1MHAL01西区测试区对外开放瞿敏妮
9ZETA可见光三维显微/轮廓仪WF2Z3DM01西区薄膜II区对外开放沈赟靓
10ZEISS光学显微镜1WPHZMIC02西区光刻区对外开放沈赟靓
11ZEISS光学显微镜2WF2ZMIC01西区薄膜I区对外开放沈赟靓
12CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪WDFCFPP01西区炉管区对外开放沈赟靓
13FSM薄膜应力测量仪WF2FSTR01西区薄膜II区对外开放沈赟靓
14KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪)WF1KSPR01西区薄膜I区对外开放瞿敏妮
15万能显微镜EPHLUMC01东区对外开放张笛
16大视场体视显微镜EMCLSMC01东区设备维修张笛
17光学显微镜EODUOMC01东区设备维修
18KLA-Tencor D-120表面轮廓仪(台阶仪)EODKSPR01东区设备维修
19Keithley 4200半导体参数分析仪(含探针台)EODKSPA01东区设备维修