| 1 | 紫外可见分光光度计 | ETE3UVV01 | 东区测试Ⅲ区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 2 | 原子力显微镜 | ETE3AFM01 | 东区测试III区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 3 | 电化学CV测试仪 | ECMPECV01 | 东区CMP区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 4 | 晶圆表面颗粒缺陷检测仪 | EFM4OSA01 | 东区薄膜Ⅳ区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 5 | 台阶仪/表面轮廓仪 | EFM3SP701 | 东区薄膜Ⅲ区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 6 | 接触角测量仪 | EFM3CAM01 | 东区薄膜Ⅲ区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 7 | Olympus测量显微镜STM7 | WF1STMO01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 8 | Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜 | WT2LSMZ01 | 西区测试区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 9 | 紫外干涉薄膜厚度测量仪 | WF1TFMF01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 10 | Semilab SE-2000椭圆偏振光谱仪 | WT1SELP01 | 西区测试区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 11 | Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜 | WT2ZSEM01 | 西区测试II区 | 对外开放 | 王英 |
| 12 | Bruker ICON原子力显微镜 | WT1BAFM01 | 西区测试区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 13 | Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台 | WT1MSPA01 | 西区测试区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 14 | MMR霍尔效应仪 | WT1MHAL01 | 西区测试区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 15 | ZETA可见光三维显微/轮廓仪 | WF2Z3DM01 | 西区薄膜II区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 16 | ZEISS光学显微镜1 | WPHZMIC02 | 西区光刻区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 17 | ZEISS光学显微镜2 | WF2ZMIC01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 18 | CDE Res Map四探针电阻率/方块电阻测试仪 | WDFCFPP01 | 西区炉管区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 19 | FSM薄膜应力测量仪 | WF2FSTR01 | 西区薄膜II区 | 对外开放 | 沈赟靓 |
| 20 | KLA-TencorP7台阶仪(表面轮廓仪) | WF1KSPR01 | 西区薄膜I区 | 对外开放 | 瞿敏妮 |
| 21 | 万能显微镜 | EPHLUMC01 | 东区 | 对外开放 | 张笛 |
| 22 | 大视场体视显微镜 | EMCLSMC01 | 东区 | 设备维修 | 张笛 |
| 23 | 光学显微镜 | EODUOMC01 | 东区 | 设备维修 | |
| 24 | KLA-Tencor D-120表面轮廓仪（台阶仪） | EODKSPR01 | 东区 | 设备维修 | |
| 25 | Keithley 4200半导体参数分析仪（含探针台） | EODKSPA01 | 东区 | 设备维修 | |
