| Model： | Zeta-20 |
|---|---|
| Function： | 收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。 |
| Engineer： | 沈老师 / +86-21- 34207734-8010 / shenyunliang@1 |
| Location： | 东区薄膜Ⅲ区、西区薄膜II区 |
| Equipment ID： | EFM33OP01、WF2Z3DM01 |
对近乎所有材料和结构进行成像分析，ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。
三维光学轮廓仪可用于测量表面形貌、粗糙度等并进行三维成像。该设备涵盖了MEMS、半导体材料、太阳能电池、光学元件等研发领域的应用。
样品尺寸：8英寸及以下的样品，样品高度不超过3cm。
基于ZDot™专利技术，Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析。当光束照射到样品表面时，会产生散射光。其中，光会受到样品表面形貌的影响，从而改变其传播方向和振幅。通过对散射光的测量和分析，可以获得样品表面的形貌信息。
可见光三维显微镜测量图形结构尺寸以及三维图像
样品尺寸：8英寸及以下的样品，样品高度不超过3cm；不接受带挥发性或污染的样品
样品尺寸：8英寸及以下的样品，样品高度不超过3cm。不接受带挥发性或污染的样品；样品背面干净，使用完后关闭软件，关闭设备电源。设备在运行过程中，请勿触碰设备以及操作电脑以免误碰引起设备停机或故障；如果发生设备报警，请通知相应的设备工程师
可见光三维显微镜可以利用拼接功能实现大尺寸范围的拍摄。
Address: 800 Dongchuan Road, Minhang District, Shanghai 200240, China
Tel: +86 21 3420 7734
Email: aemd@sjtu.edu.cn
