| Model： | LSM800 |
|---|---|
| Function： | 材料、器件的微纳结构及表面形貌观察 |
| Engineer： | 沈老师 / +86-21- 34207734-8010 / shenyunliang@1 |
| Location： | 东区测试III区 |
| Equipment ID： | WT2LSMZ01 |
通过对同一样品不同层面的实时扫描成像， 进行图像叠加可构成样品的三维结构图像。
共聚焦显微镜是一种利用空间针孔(spatial pinhole)过滤掉非焦平面光线,从而提高图像对比度并获得试样三维形貌的光学显微技术。该设备可以对样品进行三维空间结构上的无损伤观察，比如三维结构、多层薄膜、凹面或凸面等不规则表面的观察及成像处理。
对于2μm宽度的条纹标准样品，宽度测量可重复性≤10nm； 对于780μm高度的标准样品，高度测量可重复性≤20nm。
共聚焦显微镜是一种利用空间针孔(spatial pinhole)过滤掉非焦平面光线,从而提高图像对比度并获得试样三维形貌的光学显微技术。
1.分辨率测试：对于周期为24μm的亮暗条纹样品（每条条纹宽0.12μm），能够区分出不同条纹的亮暗对比度，证明分辨率可达0.12μm。
图1.1 分辨率标准样品（0.24μm）
图1.2 X方向分辨率测试结果，可区分亮暗条纹，分辨率可达0.12μm
图1.3 Y方向分辨率测试结果，可区分亮暗条纹，分辨率可达0.12μm
2.宽度测试重复性测试：对于2μm宽度的条纹标准样品，宽度测量可重复性≤10nm，测试条件为：50X物镜，3AU，0.10μm步进，2014×512像素，重复测量10次，取灰度半高宽为条纹宽度。
图2.1 2μm宽度的条纹标准样品（一个亮暗周期为2μm）
图2.2 10次重复测量的统计结果
禁止磁性及粉末样品，样品保持洁净，禁止用手直接触摸。晶圆样品大小不超过6inch。
1. 样品背面干净，使用完请将亮度调到最低。
2. 设备在运行过程中，请勿触碰设备以及操作电脑以免误碰引起设备停机或故障。
3. 如果发生设备报警，请通知相应的设备工程师。
样品尺寸不超过6inch
Address: 800 Dongchuan Road, Minhang District, Shanghai 200240, China
Tel: +86 21 3420 7734
Email: aemd@sjtu.edu.cn
