【AEMD平台微纳技术系列讲座】离子束技术：从原理到前沿应用

2024-09-15

【AEMD十周年暨二、三期正式运行系列活动】【AEMD平台微纳技术系列讲座】

离子束技术：从原理到前沿应用

–AEMD平台微纳技术系列讲座

【讲座主题】离子束技术：从原理到前沿应用【讲座时间】2024年9月19日(周四) 14:00 【讲座地址】微电子大楼401会议室 【报告人】曾博士（江苏鲁汶仪器股份有限公司，研发总监）【讲座内容】本报告将深入探讨离子束技术在微电子、光学、以及其他前沿领域的应用。通过对离子東刻蚀和离子東沉积的原理、特点及应用的系统阐述，旨在为听众提供一个全面深入的了解。

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