氧化扩散设备

序号	设备名称	设备类别	东/西区	实验区域	设备状态
1	SVCS卧式低压化学气相沉积炉管	氧化扩散设备	西区	氧化扩散区	对外开放
2	SVCS卧式氧化扩散炉管	氧化扩散设备	西区	氧化扩散区	对外开放
3	Thermo 高温退火炉	氧化扩散设备	西区	氧化扩散区	对外开放
4	RTP-CT150M快速退火炉	氧化扩散设备	西区	氧化扩散区	对外开放