【AEMD平台微纳技术系列讲座】
第十九讲 | 激光诱导玻璃通孔刻蚀系统原理与应用
–AEMD平台微纳技术系列讲座
【讲座主题】第十九讲 | 激光诱导玻璃通孔刻蚀系统原理与应用
【讲座时间】2023年5月31日(周三) 09:15-11:15
【讲座地址】微电子大楼306会议室
【报告人】王宪龙(乐普科(天津)光电有限公司,战略发展与新产品业务开发总监)
【讲座内容】主要介绍激光诱导深度刻蚀工艺在半导体领域的应用以及最新研发成果,特别是涉及TGV、BGV的最新算法、超高频(高于150GHZ)封装应用,玻璃基封装的高密封性、导热性以及可靠性研究等。
期待您的参与!