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后道切磨抛设备

序号	设备名称	设备类别	东/西区	实验区域	设备状态
1	研磨减薄机	后道切磨抛设备	东区	微纳加工实验室	暂停开放
2	精细抛光机	后道切磨抛设备	东区	微纳加工实验室	暂停开放
3	SPF-7100砂轮切片机	后道切磨抛设备	东区	微纳加工实验室	暂停开放