【AEMD平台微纳技术系列讲座2022】 讲座视频回看 序号讲座日期工艺类型讲座题目回看链接 第一讲2022.05.20刻蚀《ICP、RIE刻蚀原理与应用实例（介质、金属、硅刻蚀等）》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/dd3156db00c899dad185c59d8bda116c 第二讲2022.05.24刻蚀《化合物半导体（III-V， II-VI、SiC、GaN）干法刻蚀技术与实例》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/2e00e3cb676aab0d5e1d5b10ad7700b9 第三讲2022.05.27刻蚀《低损伤刻蚀与新型干法刻蚀技术及应用》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/bbe92674209fe9d00624fd5dbab473eb 第七讲2022.06.10刻蚀《离子束刻蚀/离子铣技术原理与应用实例》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/8de25a1b0f9a812890dd0921745bc7fb 第八讲2022.06.14光刻《激光直写设备灰阶应用说明介绍》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/b15a8c13a290598ac8f34cdaaeb749d8 第十讲2022.06.21光刻《基于热扫描探针技术的先进2D&3D纳米器件的制备与应用》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/4dd8a747a5d7733bcc4d0974cb93b23e 第十四讲2022.07.05电镀《微纳加工中的电镀工艺及应用实例》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/ae8c081c89357173799ea040129a4cbf 第十五讲2022.07.08表征《SEM与SEM base Nanoprober在半导体器件中的应用及制样方法》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/deb1b6a000298dac0b24c67c205e9167 第十六讲2022.07.12表征《扫描电镜成像技术及最新技术进展分享》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/e3424d2e9fc22c39a84fcacd818f1063 第十八讲2022.07.19薄膜沉积《离子束溅射技术在高质量薄膜制备中的应用》https://vshare.sjtu.edu.cn/play/e3c541cdbee3a8fdfb3002723a076c44 注：若有问题咨询，可发邮件至aemd@sjtu.edu.cn，邮件标题请写“【讲座问题咨询】”。 文章导航历史的文章历史的文章：【AEMD平台微纳技术系列讲座】第十八讲 | 离子束溅射技术在高质量薄膜制备中的应用未来的文章未来的文章：关于AEMD平台2022年暑假工作安排的通知
