AEMD平台举行第十三次综合培训

AEMD平台于10月15、16两日举行了第十三次用户综合培训，来自学校各个院系的167名师生参加了本次培训。本次培训内容包括：净化室综合培训、湿法实操培训、光刻区实操培训。其中“净化室综合培训”的“理论培训”内容包括：平台介绍、净化室规范、化学品安全、消防安全、湿法理论培训、平台测试设备介绍、预约系统操作培训等。

AEMD综合培训不仅是成为AEMD用户的必要过程，也是关于净化室安全和AEMD工艺的全面介绍与训练。截至目前，AEMD已经成功举行过13次综合培训，累计培训人数1200余人。为推进我校微纳加工水平，培养微纳加工人才，推广微纳加工应用范围，助力交大及国内相关领域的科研做出了极大贡献。

AEMD平台是我校专门提供微纳加工服务的校级公共服务平台。通过3年的建设和5年的正式运行，平台已建成了一条面向硅、玻璃、有机基底的且能向下完全兼容的6英寸半导体级微纳加工实验线、一条3”非硅微纳加工实验线和一个光电材料与器件实验室，能实现最小8nm以上微纳米图形加工；工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物理气相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等，同时具备最先进的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。