关于AEMD平台Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜设备开放通告

尊敬的各位用户老师、同学：

为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新购置的Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜（设备编号：WT2LSMZ01 ）已完成安装调试，即日起开放运行，各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。

Zeiss LSM 800激光共聚焦显微镜设备介绍：

主要用途/ Application：

通过对同一样品不同层面的实时扫描成像，进行图像叠加可构成样品的三维结构图像。

设备工作原理简介/ Operating principle：

工艺能力/ capability：

1. 对于2μm宽度的条纹标准样品，宽度测量可重复性≤10nm；
2. 对于780μm高度的标准样品，高度测量可重复性≤20nm。

典型使用案例/ Typical scenario：

1.分辨率测试：对于周期为24μm的亮暗条纹样品（每条条纹宽0.12μm），能够区分出不同条纹的亮暗对比度，证明分辨率可达0.12μm。

图1.1 分辨率标准样品（0.24μm）

 

图1.2 X方向分辨率测试结果，可区分亮暗条纹，分辨率可达0.12μm

 

图1.3 Y方向分辨率测试结果，可区分亮暗条纹，分辨率可达0.12μm

 

2.宽度测试重复性测试：对于2μm宽度的条纹标准样品，宽度测量可重复性≤10nm，测试条件为：50X物镜，3AU，0.10μm步进，2014×512像素，重复测量10次，取灰度半高宽为条纹宽度。

图2.1 2μm宽度的条纹标准样品（一个亮暗周期为2μm）

 

图2.2 10次重复测量的统计结果

测试结果表明，条纹宽度的最大值为1.998μm，最小值为1.979μm。

 

3.用户样品测量结果（光刻胶以及PDMS图形结构）：

图3 用户样品测量结果（光刻胶以及PDMS图形结构）

 

设备类别/Facilities：测试设备;

设备编号/No.：WT2LSMZ01

设备地点/Location：西区测试II区。

工艺工程师/Engineer in response: 沈贇靓；邮箱：shenyunliang@sjtu.edu.cn；电话：021-34207734-8001

平台测试设备列表：https://aemd.sjtu.edu.cn/设备/设备分类/测试设备/

 

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2020年10月21日