关于AEMD平台西区PECVD设备恢复对外开放使用的通知
尊敬的各位用户老师、同学:
AEMD平台西区PECVD设备(设备编号:WF2OCVD01)已完成维护,恢复对外开放使用。在此期间,给您带来不便,敬请谅解!感谢您对AEMD平台的关注!
先进电子材料与器件校级平台
二零一九年六月十一日
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二零一九年六月十一日