关于AEMD平台西区因特气源更换完成恢复部分设备预约的通知
尊敬的各位用户老师、同学：
AEMD平台西区已完成部分特气源的更换，故部分设备恢复预约。恢复预约设备清单如下表：
| 设备编号 | 设备名称 | 设备地点 |
| WF2NDSE02 | NMC深硅刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
| WF2SDSE01 | SPTS硅刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
| WF2SRIE01 | Sentech金属刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
| WF2OCVD01 | 等离子增强化学气相沉积(PECVD) | 西区薄膜II区 |
| WF2NRIE02 | NMC介质刻蚀机 | 西区薄膜II区 |
| WF2PCVD01 | 电感耦合等离子体化学气相沉积设备 | 西区薄膜II区 |
| WDFSLPF01 | LPCVD（非晶/多晶硅沉积） | 西区炉管区 |
| WDFSLPF02 | LPCVD（氮化硅薄膜沉积 | 西区炉管区 |
在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！
先进电子材料与器件校级平台
2020年08月13日