各位老师：
大家好！
先进电子材料与器件（简称AEMD）校级平台是上海交大“985工程”三期重点建设 项目，是一个面向全校、全社会开放的校级公共平台。AEMD平台座落于交大闵行校区微 电子大楼一层，有近700平米的100级和1000级净化室，以及近100平米的非净化测试加 工区。平台建设有一条能对硅、玻璃等进行微纳米加工的6英寸半导体级微纳加工实验 线，具有电子束曝光系统、双束聚焦离子束系统、双面对准光刻机、涂胶显影系统、微 波去胶机、氧化扩散炉、LPCVD炉、高温退火炉、湿法清洗刻蚀台、多靶磁控溅射系 统、电子束蒸发设备、等离子清洗设备、等离子增加化学气相沉积系统、金属反应离子 刻蚀设备、介质反应离子刻蚀设备、深硅刻蚀系统、湿法刻蚀/清洗与显影/去胶系统、 高分辨率场发射扫描电镜、原子力显微镜、半导体参数测试仪、霍尔效应仪、表面轮廓 仪、薄膜应力仪、厚膜测量仪等国际先进的微纳加工与测试设备，具备10nm至微米级微 纳器件及图形的加工与测试能力。
更多详情，敬请浏览AEMD网站：https://aemd.sjtu.edu.cn/。 欢迎致电 021-34207734或34208017，联系邮箱aemd@sjtu.edu.cn。

为了更好的为用户服务，上海交大AEMD平台诚邀各位老师参与校内用户调研，感谢 您抽出宝贵时间完成调查问卷，我们将对完成调查问卷的校内用户提供以下优惠政策：
1、在AEMD校内开放试运行期间内，享受优先预约使用的权利；
2、享受一次免费样品测试（限200元以下，仅限本人及其学生使用）；
3、提供一次AEMD净化室免费参观体验。
调查问卷链接：
http://survey.sjtu.edu.cn/index.php/688767/lang-zh-Hans

感谢您的耐心配合！

先进电子材料与器件（AEMD）校级平台
2014年6月