各位老师、同学：
AEMD平台新购置的下述设备（附：设备列表）已完成安装与调试，为了满足学校广大师生的科研需求，即日起开放运行，特此公告。
下述设备位于西区实验室（微电子大楼一层），运行期间可供我校师生预约使用。
欢迎我校师生预约使用！欢迎致电：021-34207734或34208017，分机8001。联系人：沈老师；联系邮箱：aemd@sjtu.edu.cn。
先进电子材料与器件（AEMD）平台
二零一四年十一月十八日
附：设备列表（西区实验室）
光刻区
光刻设备： Vistec EBPG-5200+ 电子束光刻系统、SUSS MA6双面对准光刻机、Princision Imprint PI-D01纳米压印机
热处理设备： SVS OV-12 HMDS 烘箱、热板
旋涂设备： SUSS高性能涂胶机I、Laurell 650-8N高性能涂胶机
薄膜Ⅱ区
刻蚀设备：SPTS反应离子式深硅刻蚀系统(DRIE-I)、PVA-TePla微波等离子去胶机/表面处理机
测试设备：FSM薄膜应力测量仪、Ocean Optics紫外干涉膜厚仪、光学显微镜
氧化扩散区
测试设备：CDE ResMap四探针电阻率/方块电阻测试仪
湿法区
湿法台： Kzone标准湿法台、有机去胶清洗台、无机去胶清洗台、介质刻蚀清洗台、金属刻蚀清洗台、 Si刻蚀清洗台、有机清洗台、多功能操作台
烘干设备：THERMO 高温退火炉、BINDER氮气烘箱