关于AEMD平台设备测试/加工预约流程的实施细则
各位老师、同学:
上海交通大学先进电子材料与器件校级平台(AEMD平台)已于2014年年底正式运行。平台的创建为我校及社会相关科研机构提供了良好的实验基地,为规范平台的管理,在此重申望各位师生遵守AEMD平台东西区(包括原COMD)设备测试/加工预约流程及注意事项。
预约流程(详见相关网址:https://aemd.sjtu.edu.cn/?p=127 )
课题组负责人建立账号→提前一天预约设备(预约邮箱:aemd@sjtu.edu.cn电话:021-34207734;)→填写使用申请登记表→完成测试/加工工艺→用户反馈记录(西区:微电子大楼103室;东区:设备工程师处;原COMD:设备旁记录本)。
注意事项:
- 使用AEMD平台设备仪器必须至少提前一天预约,须详细说明试片的制作方式及具体加工工艺,经平台审批同意后方可使用。若试样有可能造成真空腔污染,本单位有权拒绝受理。
- 因个人原因而无法在预约时间进行实验,则应在预约时间开始前一天电话联系平台取消预约。如无故超过预约时间十五分钟未到现场,预约时段将自动取消,且该情况将被视为违约,实验费用将被扣除,相应时段平台有权进行其他安排。
- 实验工艺如属首次开发的新工艺或首次使用的新材料,须经平台审核,并提供两个以上样品以供实验开发与测试用。
- 对未预约使用平台设备仪器或使用后未按规定照实记录者,一经查实,取消净化间门禁权限2周并处实验费10倍罚金。严重违规者,将永久取消东区净化间门禁使用权限。
特此通知,敬请知晓。
上海交通大学先进电子材料与器件(AEMD)校级平台
二零一五年三月五日