HARRICK等离子清洗机(表面改性)
(HARRICK Plasma Cleaner)
主要技术指标/Specifications:
- 工作气体:氧气、氮气或氮氧混合气体等。
The working gas: O2, N2 and Mixed gas
- 功率三档:7.16W、10.15W、29.6W可调。
Power selection: 7.16W、, 10.15W、, 29.6W
- 基片尺寸:支持6英寸以下5、4、3英寸以及破片
Sample size: Less than 6 inches.
主要用途/Applications:
衬底表面改性处理
Substrate surface modification