【讲座主题】第十五讲 | SEM与SEM base Nanoprober在半导体器件中的应用及制样方法

【讲座时间】2022年7月8日(周五) 19:00-20:30

【报告人】周鸥（日立科学仪器（北京）有限公司，半导体行业专门部长）

【讲座内容】本讲座围绕电子显微镜如何获取形貌、成分、电位等多种信息的基本原理，结合日立电子显微镜的独特设计给出解决方案，并介绍基于SEM的专用纳米探针系统在电性测量和失效点定位方面的应用，以及离子研磨在样品制备中所能解决的问题。

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腾讯会议号： 780-3798-6336

会议密码：2022

【讲座预告】

7月12日 第十六讲 | 扫描电镜成像技术及最新技术进展分享（19:00~20:30）

7月15日 第十七讲 | 显微技术在新一代半导体行业解决方案（19:00~20:30）