【讲座主题】第八讲 | 激光直写设备灰阶应用说明介绍

【讲座时间】2022年6月14日(周二) 14:00-15:30

【报告人】Christian Bach (Heidelberg Instruments，全球售后服务CEO)

【讲座内容】激光直写设备在科研与工业生产应用已是非常普遍的工艺方法，激光直写是一种快速，高精度的无掩膜光刻工艺。通过空间光调制器直接将CAD图案通过激光直写在光刻胶表面。激光直写设备除了一般二维线路器具的开发，在灰阶光刻也是首选的工艺制造设备，目前灰阶应用是非常热门的研究课题，将在报告中进行分享相关制作方法与应用。

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腾讯会议号： 780-3798-6336

会议密码：2022

【讲座预告】

6月17日 14:00~15:30

第九讲 | 3D光刻和3D微打印的多用途工具

6月21日 19:00~20:30

第十讲 | 基于热扫描探针技术的先进2D&3D纳米器件的制备与应用