关于AEMD平台二、三期新设备上线的通知-薄膜沉积设备

尊敬的各位用户老师、同学：

为了进一步满足广大师生的科研需求，AEMD平台新上线二、三期设备：维开双腔电子束蒸发镀膜系统、维开多靶磁控溅射镀膜系统、维开电阻热蒸发镀膜系统、Intlvac离子束溅射辅助沉积系统。上述设备即日起正式开放运行，各位用户可通过AEMD预约系统进行设备预约，特此公告。

设备详细介绍查看链接： AEMD官网-平台设备-薄膜沉积设备

AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2025年3月21日