关于AEMD平台高质量掺钪氮化铝和氮化铝片限量供应的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台现有一批高质量掺钪氮化铝薄膜片（Sc含量20%）、氮化铝薄膜片和金属钼薄膜片可供申领，库存有限，领完即止。

产品特点：

1. 薄膜生长方式均为高真空PVD方式，具有高纯、高均匀度和低粗糙度的特点；
2. 薄膜表面均进行了厚度trimming，以达到极佳的膜厚均匀性；
3. AlN及AlScN薄膜的晶体质量高，缺陷密度低：（002）取向的XRD摇摆曲线半峰宽(FWHM)均<1.5^o；
4. 多层膜的生长过程中，层与层之间均不破真空，界面质量佳；
5. 多层膜的晶格匹配良好。

 

产品具体规格和现有库存：请参阅本通知下方的附件列表。

产品领用流程：

1. 登陆预约系统，在菜单路径“材料易耗品管理-入库明细”里，根据物资编号查看所需产品的剩余数量；然后在 “材料易耗品管理-领用申请”里提交领用申请；
2. 当领用申请单状态为“待领用”时，即可联系AEMD平台乌李瑛老师进行领取，联系电话：34206126-6028；产品存放地点：西区净化室内。

如有任何技术问题，也可直接联系乌李瑛老师进行咨询。

 

附件：《掺钪氮化铝薄膜片和氮化铝薄膜片》

 

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2025年3月18日