关于AEMD平台东区VHF刻蚀系统设备恢复对外开放使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台东区VHF刻蚀系统（设备编号：EFM3VHF01）已完成设备维修，恢复对外开放使用。

在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2025年1月20日