关于AEMD平台东区Sentech金属刻蚀机设备全部工艺恢复对外开放使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台东区Sentech金属刻蚀机（设备编号：WF2SRIE01）所有工艺现已全面恢复并对外开放，欢迎大家预约使用。

设备安置地点：东区薄膜Ⅲ区；AEMD平台东区实验室位于陈炜文楼一楼。

此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注。

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年12月20日