关于AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备恢复对外开放使用的通知
尊敬的各位用户老师、同学:
AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备(设备编号:WF1BALD01)已完成设备维修,恢复对外开放使用。
在此期间,给您带来不便,敬请谅解!感谢您对AEMD平台的关注!
先进电子材料与器件(AEMD)平台
2024年12月5日
关于AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备恢复对外开放使用的通知
尊敬的各位用户老师、同学:
AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备(设备编号:WF1BALD01)已完成设备维修,恢复对外开放使用。
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2024年12月5日