关于AEMD平台二、三期新设备上线的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新上线二、三期设备：SUSS MA8/BA8双面对准光刻机、SUSS 高性能涂胶机、SUSS 高性能显影机、VHF刻蚀系统、激光诱导深度刻蚀、高精度微喷墨打印系统，即日起开放运行，各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。

AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年11月22日