关于AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD设备维修的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD (设备编号：WF2OCVD01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验，预计维修周期：一周。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。

给您带来不便，敬请谅解！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年11月18日