关于AEMD平台西区EBL设备恢复对外开放使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区电子束直写曝光系统（EBL）（设备编号：WPHVEBL01）设备已完成设备维护，恢复对外开放使用。在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2024年9月6日