关于AEMD平台西区EBL设备维修的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区电子束直写曝光系统（EBL）（设备编号：WPHVEBL01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。

给您带来不便，敬请谅解！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2023年10月31日