关于AEMD平台西区PECVD设备恢复对外开放使用的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积(PECVD) （设备编号：WF2OCVD01）已完成维修，恢复对外开放使用。

在此期间，给您带来不便，敬请谅解！感谢您对AEMD平台的关注！

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2023年2月24日