关于AEMD平台西区SEM设备维修的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

AEMD平台西区SEM设备维修，自2022.10.28（星期五）起暂停使用。给您带来不便，敬请谅解！届时设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学，谢谢！

上海交通大学先进电子材料与器件平台

2022年10月28日