关于AEMD平台试行延长部分设备工作日预约时长的通知

尊敬的各位用户老师、同学：

针对部分设备机时预约紧张、正常工作时长无法满足用户预约需求的情况，经平台讨论决定，从即日起开放部分设备（现阶段试行设备：电子束光刻；设备型号：Vistec EBPG-5200+；设备编号：WPHVEBL01）的延时预约，延长预约时段为17:00-21:30。相关设备负责老师会根据实际的预约情况，进行延长工艺服务的安排，试行期间频次1-2天/周；请大家知悉。

如有疑问，请联系平台；联系电话：021-34207734或34208017；联系邮箱：aemd@sjtu.edu.cn。

感谢您对平台工作的理解和支持！

先进电子材料与器件平台

2021年4月30日